- Danh mục
- Wassenaar – Danh mục hàng hóa và công nghệ lưỡng dụng – WA-LIST (25) 1
- Mục tương ứng của EU
- 3D003
Chú thích kỹ thuật:
Trong phạm vi 3D003, 'quang khắc tính toán' là việc sử dụng mô hình hóa bằng máy tính để dự đoán, hiệu chỉnh, tối ưu hóa và kiểm định hiệu năng tạo ảnh của quy trình quang khắc đối với một dải các hình mẫu, quy trình và điều kiện hệ thống.
Trong phạm vi 3D003, 'quang khắc tính toán' là việc sử dụng mô hình hóa bằng máy tính để dự đoán, hiệu chỉnh, tối ưu hóa và kiểm định hiệu năng tạo ảnh của quy trình quang khắc đối với một dải các hình mẫu, quy trình và điều kiện hệ thống.
Nguyên văn tiếng Anh
Technical Note
For the purposes of 3.D.3., 'computational lithography' is the use of computer modelling to predict, correct, optimise and verify imaging performance of the lithography process over a range of patterns, processes, and system conditions.
For the purposes of 3.D.3., 'computational lithography' is the use of computer modelling to predict, correct, optimise and verify imaging performance of the lithography process over a range of patterns, processes, and system conditions.